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儀器儀表
ANELVA佳能 電離真空計(jì) M-723HG/M-823HG/M-923HG
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| 來源： 作者：王定輝 時(shí)間：2017-08-15 返回 |
ANELVA佳能 電離真空計(jì) M-723HG/M-823HG/M-923HG
這是一個(gè)具有豐富的擴(kuò)展板選擇，支持各種儀表的一系列最常見的B-A電離真空計(jì)。
標(biāo)準(zhǔn)配備帶遙控功能和必要的真空設(shè)備工藝控制范圍內(nèi)保持功能。能夠控制與CC-Link通訊的型也可提供。
在M-823HG使從大氣壓到高真空的范圍與單個(gè)設(shè)備精確測量。
特征
1.Automatically切換壓力范圍。
2.Pressures和信息顯示在LCD上。
外部控制功能3.Variety實(shí)現(xiàn)完全的遠(yuǎn)程操作。
4，標(biāo)準(zhǔn)配備了兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)。
應(yīng)用
·自動(dòng)真空設(shè)備壓力測量
·濺射工藝壓力測量與控制
·多室系統(tǒng)的壓力測量
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